Inchworm Positioning System: TSE-820
Il sistema di posizionamento TSE-820 unisce il motore Inchworm® di Burleigh, una slitta lineare di precisione e un encoder lineare interno per un insieme compatto e di alta qualità. Il design compatto ed efficiente, con un encoder di 20 nm montato all'interno della slitta, lo rende uno dei più piccoli posizionatori closed-loop disponibili. L’encoder inoltre accerta accuratezza massima perché il movimento della slitta è misurato direttamente. Gli errori di offset di Abbe connessi con i disallineamenti dell’encoder sono minimizzati.
Key Features:
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