Inchworm Motors: IW-UHV Series

I motori Inchworm® della serie UHV di EXFO Burleigh forniscono un'alternativa di alta qualità ai sistemi che utilizzano passanti da vuoto meccanici complessi, fragili ed imprecisi per ottenere  posizionamenti di precisione dentro le camere da ultra alto vuoto  (UHV). Questi motori richiedono soltanto i passanti da vuoto elettrici per il funzionamento a distanza. I motori di UHV Inchworm sono costruiti per tollerare temperature fino a 150ºC per i periodi estesi (non in funzionamento) . Un tasso outgassing di più meno di 1 x 10-10 torr-liters/second permette l’utilizzo nei sistemi di vuoto con pressioni fino a 10-11 torr.

Key Features:

• Velocità massima fino a 0.7 mm/secondo per piccolo carichi (< 100 g)
• Disponibili con varie corse
• Disponibili anche slitte per montare carichi più elevate o per movimenti a più dimensioni
• Unidirectional motion discontinuity prevents contact with objects being approached in fine increments

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• Specsheet: Inchworm Motors UHVL Series

Translation Stages: UHV Series

Per i grandi carichi o movimenti a più dimensioni, i motori di serie di UHV possono essere forniti in una slitta di traslazionei UHVL. Questa slitta usa i cuscinetti crossed-roller e un lubrificante a secco vuoto-compatibile. Il corpo della slitta è di alluminio non lucidato, materiale con minimo outgassing e massa bassa. La slitta include un supporto ad alta rigidità per il motore e gli interruttori di limite di andata e ritorno integrati. La slitta UHVL ha un movimento di 25 millimetri. La piattaforma misura 75 millimetri x 75 millimetri ed è accatastabile per movimento di X-Y. La slitta include un motore di UHVL Inchworm® di EXFO Burleigh.

Key Features:

• 25 mm range of motion
• Stackable multi-axis design
• < 2 mm straightness

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